OLS4100 3D 測量激光顯微鏡——以接近納米級的高分辨率進行 3D 觀察與和測量的激光顯微鏡。
可以更簡便、更快速、更大范圍地獲得圖像。
具備智能掃描功能，任何人都可以一鍵完成過去只有熟練操作人員才能進行的獲取 3D 圖像操作。
通過使用方便、高速的圖像拼接功能，可在更大的范圍內(nèi)進行高精度的測量。
● 綜合倍率：108X~17,280X
● 測量項目：高度測量、長度測量、線粗糙度測量、面粗糙度測量、粒子分析、邊緣自動識別、膜厚測量。
● 分辨率：0.12μm（平面）、0.01μm（高度）
● 重復性（平面）：3σ n-1 =0.02μm，重復性（高度）：σ n-1 =0.012μm
● 準確度（平面）：測量值的 ±2% 以內(nèi)，準確度（高度）：0.2+L/100μm 以下（L= 測量長度 μm）
