MX63L  半導體 / FPD 檢查顯微鏡——可適用于 300mm 晶圓、FPD 玻璃基板檢查的電動機型（透反射兼用）。

先進的 MIX 成像方式，讓未見變?yōu)榭梢姟？膳c物鏡切換聯動，自動調節(jié)孔徑光闌，快速實現合適的檢查條件。搭載 12 英寸載物臺，可適用于大尺寸的樣品。

● 適用于明場、暗場、微分干涉、熒光、簡易偏光以及新式的 MIX 照明觀察。

● 具備有全新的聚焦輔助功能，在檢測低對比度樣品時可幫助避免樣品與物鏡接觸。

● 采用將主要操作部件集中配置于前面板等提高半導體檢查效率的設計。

● 顯微鏡按潔凈間應用而設計，并符合 SEMI S2/S8、CE 和 UL 要求。

● 配備了高強度白光 LED 光源，兼顧低功耗和長壽命的優(yōu)點，而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質量和的色彩復現提供保障。

● 使用電動物鏡轉換器可快速切換物鏡，并可以聯動調節(jié)孔徑光闌 (AS) 等，確保一直保持良好觀察條件。