MX63 半導體 / FPD 檢查顯微鏡——可適用于 200mm 晶圓、FPD 玻璃基板檢查的電動機型（透反射兼用）。先進的 MIX 成像方式，讓未見變?yōu)榭梢?。可與物鏡切換聯(lián)動，自動調(diào)節(jié)孔徑光闌，快速實現(xiàn)合適的檢查條件。

● 適用于明場、暗場、微分干涉、熒光、簡易偏光以及新式的 MIX 照明觀察。

● 具備有全新的聚焦輔助功能，在檢測低對比度樣品時可幫助避免樣品與物鏡接觸。

● 采用將主要操作部件集中配置于前面板等提高半導體檢查效率的設(shè)計。

● 顯微鏡按潔凈間應用而設(shè)計，并符合 SEMI S2/S8、CE 和 UL 要求。

● 配備了高強度白光 LED 光源，兼顧低功耗和長壽命的優(yōu)點，而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和的色彩復現(xiàn)提供保障。

● 使用電動物鏡轉(zhuǎn)換器可快速切換物鏡，并可以聯(lián)動調(diào)節(jié)孔徑光闌 (AS) 等，確保一直保持良好觀察條件。