XD 激光干涉儀，能夠 一次安裝同時測量 數(shù)控直線軸的線性定位誤差(包括定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙)、直線度（XX 方向和YY 方向）等三個參數(shù)，測量效率相比傳統(tǒng)激光干涉儀提高三倍以上。該配置還可以通過選配件來測量兩個直線軸的垂直度、小角度精度等。

特點(diǎn)和實(shí)現(xiàn)功能：

• 線性定位誤差測量：包括定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙

• 直線度測量：包括垂直于運(yùn)動軸方向的兩個方向（豎直、水平）的直線度

• 一次安裝可以同時測量以上多個參數(shù)，無需更換光學(xué)組件，效率提高數(shù)倍以上

• 直線度和角度測量中不怕斷光，可以替代準(zhǔn)直儀使用，對安裝進(jìn)行指導(dǎo)調(diào)整

• 安裝靈活方便，可以選擇多種安裝方式，即使在苛刻的擁擠環(huán)境都能便捷安裝

• 環(huán)境適應(yīng)性廣

1 、XD  激光干涉儀的設(shè)計(jì)理念

• 提高激光干涉儀的測量效率, 減少機(jī)床的停產(chǎn)時間 減少機(jī)床的停產(chǎn)時間 。

• 測量精度: 0.5 ppm ( 標(biāo)準(zhǔn)型) 。

• 兩點(diǎn)調(diào)光線, 設(shè)置操作簡單容易 。

• 常規(guī)測量無需三角架，結(jié)構(gòu)緊湊，便于攜帶 。

XD 激光干涉儀，一次設(shè)置能夠同時測量數(shù)控直線軸的多個誤差參數(shù)（單軸多 6 個誤差參數(shù)）。減少了機(jī)床的停產(chǎn)時間，提高了實(shí)際測量精度（測量該軸的各誤差參數(shù)時, 無時間差）, 操作使用容易。傳統(tǒng)干涉儀需要數(shù)天時間才能完成的測試，API XD 激光干涉儀只需 2 到 3 個小時。XD-5/6D 激光干涉儀節(jié)省機(jī)床停產(chǎn)時間達(dá) 80%以上。多參數(shù)同步測量所揭示的機(jī)床真實(shí)誤差狀況是傳統(tǒng)干涉儀所無法做到的。

2、先進(jìn)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

API 公司采用了穩(wěn)定鋼球與絕熱層的雙重定位設(shè)計(jì)（如下圖），將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機(jī)隔開，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩(wěn)定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區(qū)與下端底盤定位相連，從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩(wěn)定鋼珠中線向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測量準(zhǔn)確性。

3 、線性測量原理

利用氦氖激光作為長度基準(zhǔn)，對數(shù)控設(shè)備（加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等）進(jìn)行精密測量的精密測量。

激光干涉儀通過接收到的激光的明暗條紋變化，再通過電子細(xì)分，從而知道距離的細(xì)微和準(zhǔn)確變化。

4 、直線度測量原理

PSD 是一種新型半導(dǎo)體光電位置敏感探測器件在激光干涉儀的反射鏡上集成一個高精度的 PSD 位置敏傳感器，進(jìn)行測量，不僅測出直線軸的定位精度，同時也可以將軸的兩個方向直線度同時測出，大大提高了測量效率，且穩(wěn)定性好、精度高,而且也適合長距離的同時也是二維直線度誤差的測量。

利用 API 激光干涉儀還可以對機(jī)床長導(dǎo)軌進(jìn)行直線度測量，使用非常方便。一次安

裝測量即可得到兩個方向的直線度誤差。

5、XD3LS  主要參數(shù)指標(biāo)

6、測量案例