激光干涉儀
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長度測(cè)量。幾何精度檢測(cè) 可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長度測(cè)量。幾何精度檢測(cè) 可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長度測(cè)量。幾何精度檢測(cè) 可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等