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激光干涉儀

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激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等