ZEISS XENOS
XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用——從科研機構的測量實驗室、航空和航天工業(yè)直至光學工業(yè)。這一高端測量機的測量精度達到技術極限,其測量范圍近1立方米。
XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用——從科研機構的測量實驗室、航空和航天工業(yè)直至光學工業(yè)。這一高端測量機的測量精度達到技術極限,其測量范圍近1立方米。
概述
1、虛擬中央驅動
XENOS于Y軸向配備雙線性驅動系統(tǒng),得益于蔡司的中央驅動技術可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術可據(jù)X軸位置完美分布驅動力。
作為控制系統(tǒng)及算法之完美結合,這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關鍵因素。
2、所有軸均采用線性驅動
XENOS的所有軸均采用線性驅動。其優(yōu)點:高速、加速極快、定位精度高、驅動無剪切力影響。結合超高分辨率光柵尺技術,XENOS的線性驅動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的極高定位精度。
例如,測針偏移量越恒定,即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢:測針的移動路徑與預定值越吻合,即可實現(xiàn)越的性。
3、碳化硅陶瓷
XENOS在與精度密切相關的機器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止,該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機器上得到使用。
與常規(guī)陶瓷相比,碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可提升30%,同時減重20%。與鋼材相比,碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。
創(chuàng)新的機械設計
XENOS采用了全新的機械設計理念。與標準橋式測量機不同:Y導軌分布于側壁頂部,分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動,更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。
更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的完美統(tǒng)一。
改進的電子設計
通過全新的電子設計,移動線纜對精度影響顯著降低。
計算機輔助精度修正(CAA)法和特殊附加CAA修正技術在獲得高測量精度的過程中扮演著日趨重要的作用。
加強型VAST gold
XENOS采用蔡司VAST gold測量探頭。在研發(fā)過程中,蔡司在測量精度和測量重復度方面對該探頭進行了優(yōu)化。XENOS也采用了新型剛性連接。
VAST gold探頭可與長度可達800毫米的測針以及重量高達500克的測針配套使用,包括非對稱型測針。