NX1000 工業(yè)檢測顯微鏡專為工業(yè)、電子、儀器行業(yè)等超大面積樣本觀察設(shè)計(jì)。
技術(shù)參數(shù)：
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) |
目鏡 | EW10X(22) |
觀察鏡筒 | ·雙目觀察鏡筒·三目觀察鏡筒·可傾角三目觀察鏡筒·正像可傾三目觀察鏡筒 |
轉(zhuǎn)換器 | 六孔物鏡轉(zhuǎn)換器（帶 DIC 插槽） |
物鏡 | 半復(fù)消色差 / 復(fù)消色差物鏡 |
平臺 | 14寸X12寸超大平臺，內(nèi)置離合器，行程：356X305mm 可用于300mm晶圓 |
聚光鏡 | 長距透射用聚光鏡 |
光源 | 反射光源 10V/100W 鹵素?zé)?，科勒照?/p> |
| 透射光源 LED-40A 冷光源 | |
擴(kuò)展性 | 明場、暗場、偏光、落射 DIC、熒光 |
產(chǎn)品特點(diǎn):
NX1000系列工業(yè)檢測顯微鏡采用經(jīng)過多年研究和不斷改良的 NIS 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，具有工作距離長，色差矯正能力強(qiáng)，成像銳利等的光學(xué)品質(zhì)。大面積觀察需要更大的操作平臺，NX1000 系列顯微鏡采用 12 寸超大載物臺，滿足FPD及LSI的檢測。加入離合器平臺手柄及物鏡轉(zhuǎn)換等人性化部件，極大的降低了長時(shí)間顯微操作帶來的疲勞。
