MX63L  半導(dǎo)體 / FPD 檢查顯微鏡——可適用于 300mm 晶圓、FPD 玻璃基板檢查的電動(dòng)機(jī)型（透反射兼用）。

先進(jìn)的 MIX 成像方式，讓未見(jiàn)變?yōu)榭梢?jiàn)?？膳c物鏡切換聯(lián)動(dòng)，自動(dòng)調(diào)節(jié)孔徑光闌，快速實(shí)現(xiàn)合適的檢查條件。搭載 12 英寸載物臺(tái)，可適用于大尺寸的樣品。

● 適用于明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉、熒光、簡(jiǎn)易偏光以及新式的 MIX 照明觀察。

● 具備有全新的聚焦輔助功能，在檢測(cè)低對(duì)比度樣品時(shí)可幫助避免樣品與物鏡接觸。

● 采用將主要操作部件集中配置于前面板等提高半導(dǎo)體檢查效率的設(shè)計(jì)。

● 顯微鏡按潔凈間應(yīng)用而設(shè)計(jì)，并符合 SEMI S2/S8、CE 和 UL 要求。

● 配備了高強(qiáng)度白光 LED 光源，兼顧低功耗和長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn)，而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和的色彩復(fù)現(xiàn)提供保障。

● 使用電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器可快速切換物鏡，并可以聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)孔徑光闌 (AS) 等，確保一直保持良好觀察條件。