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MX61A MX63L 半導(dǎo)體電動(dòng)檢查顯微鏡

MX61A MX63L 半導(dǎo)體電動(dòng)檢查顯微鏡——適合 300mm 晶圓檢查用的電動(dòng)機(jī)型(反射專用)。

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MX61A MX63L 半導(dǎo)體電動(dòng)檢查顯微鏡——適合 300mm 晶圓檢查用的電動(dòng)機(jī)型(反射專用)。

通過軟件控制內(nèi)外部設(shè)備的顯微鏡系統(tǒng)。采用電動(dòng)控制,可不受樣品或操作人員等各種條件的影響,實(shí)現(xiàn)良好的檢查環(huán)境。

● 可適用于明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉、熒光、簡(jiǎn)易偏光觀察。

● 可搭載適用于多種設(shè)備的自動(dòng)對(duì)焦機(jī)構(gòu)。