OLS4100 3D 測(cè)量激光顯微鏡——以接近納米級(jí)的高分辨率進(jìn)行 3D 觀察與和測(cè)量的激光顯微鏡。

可以更簡(jiǎn)便、更快速、更大范圍地獲得圖像。

具備智能掃描功能，任何人都可以一鍵完成過去只有熟練操作人員才能進(jìn)行的獲取 3D 圖像操作。

通過使用方便、高速的圖像拼接功能，可在更大的范圍內(nèi)進(jìn)行高精度的測(cè)量。

● 綜合倍率：108X~17,280X

● 測(cè)量項(xiàng)目：高度測(cè)量、長(zhǎng)度測(cè)量、線粗糙度測(cè)量、面粗糙度測(cè)量、粒子分析、邊緣自動(dòng)識(shí)別、膜厚測(cè)量。

● 分辨率：0.12μm（平面）、0.01μm（高度）

● 重復(fù)性（平面）：3σ n-1 =0.02μm，重復(fù)性（高度）：σ n-1 =0.012μm

● 準(zhǔn)確度（平面）：測(cè)量值的 ±2% 以內(nèi)，準(zhǔn)確度（高度）：0.2+L/100μm 以下（L= 測(cè)量長(zhǎng)度 μm）