API XD系列激光干涉儀
XD 激光干涉儀,能夠 一次安裝同時(shí)測(cè)量 數(shù)控直線軸的線性定位誤差(包括定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙)、直線度(XX 方向和YY 方向)等三個(gè)參數(shù),測(cè)量效率相比傳統(tǒng)激光干涉儀提高三倍以上。該配置還可以通過(guò)選配件來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)直線軸的垂直度、小角度精度等。
XD 激光干涉儀,能夠 一次安裝同時(shí)測(cè)量 數(shù)控直線軸的線性定位誤差(包括定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙)、直線度(XX 方向和YY 方向)等三個(gè)參數(shù),測(cè)量效率相比傳統(tǒng)激光干涉儀提高三倍以上。該配置還可以通過(guò)選配件來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)直線軸的垂直度、小角度精度等。
XD 激光干涉儀,能夠 一次安裝同時(shí)測(cè)量 數(shù)控直線軸的線性定位誤差(包括定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙)、直線度(XX 方向和YY 方向)等三個(gè)參數(shù),測(cè)量效率相比傳統(tǒng)激光干涉儀提高三倍以上。該配置還可以通過(guò)選配件來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)直線軸的垂直度、小角度精度等。
特點(diǎn)和實(shí)現(xiàn)功能:
線性定位誤差測(cè)量:包括定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙
直線度測(cè)量:包括垂直于運(yùn)動(dòng)軸方向的兩個(gè)方向(豎直、水平)的直線度
一次安裝可以同時(shí)測(cè)量以上多個(gè)參數(shù),無(wú)需更換光學(xué)組件,效率提高數(shù)倍以上
直線度和角度測(cè)量中不怕斷光,可以替代準(zhǔn)直儀使用,對(duì)安裝進(jìn)行指導(dǎo)調(diào)整
安裝靈活方便,可以選擇多種安裝方式,即使在苛刻的擁擠環(huán)境都能便捷安裝
環(huán)境適應(yīng)性廣
1 、XD 激光干涉儀的設(shè)計(jì)理念
提高激光干涉儀的測(cè)量效率, 減少機(jī)床的停產(chǎn)時(shí)間 減少機(jī)床的停產(chǎn)時(shí)間 。
測(cè)量精度: 0.5 ppm ( 標(biāo)準(zhǔn)型) 。
兩點(diǎn)調(diào)光線, 設(shè)置操作簡(jiǎn)單容易 。
常規(guī)測(cè)量無(wú)需三角架,結(jié)構(gòu)緊湊,便于攜帶 。
XD 激光干涉儀,一次設(shè)置能夠同時(shí)測(cè)量數(shù)控直線軸的多個(gè)誤差參數(shù)(單軸多 6 個(gè)誤差參數(shù))。減少了機(jī)床的停產(chǎn)時(shí)間,提高了實(shí)際測(cè)量精度(測(cè)量該軸的各誤差參數(shù)時(shí), 無(wú)時(shí)間差), 操作使用容易。傳統(tǒng)干涉儀需要數(shù)天時(shí)間才能完成的測(cè)試,API XD 激光干涉儀只需 2 到 3 個(gè)小時(shí)。XD-5/6D 激光干涉儀節(jié)省機(jī)床停產(chǎn)時(shí)間達(dá) 80%以上。多參數(shù)同步測(cè)量所揭示的機(jī)床真實(shí)誤差狀況是傳統(tǒng)干涉儀所無(wú)法做到的。
2、先進(jìn)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
API 公司采用了穩(wěn)定鋼球與絕熱層的雙重定位設(shè)計(jì)(如下圖),將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機(jī)隔開(kāi),從而避免了干涉鏡受熱變形,用穩(wěn)定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區(qū)與下端底盤(pán)定位相連,從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩(wěn)定鋼珠中線向后,使得干涉鏡不受影響,保證了測(cè)量準(zhǔn)確性。
3 、線性測(cè)量原理
利用氦氖激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn),對(duì)數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等)進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量。
激光干涉儀通過(guò)接收到的激光的明暗條紋變化,再通過(guò)電子細(xì)分,從而知道距離的細(xì)微和準(zhǔn)確變化。
4 、直線度測(cè)量原理
PSD 是一種新型半導(dǎo)體光電位置敏感探測(cè)器件在激光干涉儀的反射鏡上集成一個(gè)高精度的 PSD 位置敏傳感器,進(jìn)行測(cè)量,不僅測(cè)出直線軸的定位精度,同時(shí)也可以將軸的兩個(gè)方向直線度同時(shí)測(cè)出,大大提高了測(cè)量效率,且穩(wěn)定性好、精度高,而且也適合長(zhǎng)距離的同時(shí)也是二維直線度誤差的測(cè)量。
利用 API 激光干涉儀還可以對(duì)機(jī)床長(zhǎng)導(dǎo)軌進(jìn)行直線度測(cè)量,使用非常方便。一次安
裝測(cè)量即可得到兩個(gè)方向的直線度誤差。
5、XD3LS 主要參數(shù)指標(biāo)
參數(shù) | 單位 | 技術(shù)規(guī)格 |
線性測(cè)量范圍 | M | 0-45 |
線性測(cè)量精度 | PPM | 0.5 |
線性分辨率 | μm | 0.001 |
直線度測(cè)量范圍 | M | 0-15 |
直線度測(cè)量精度 | μm | 2.0+0.4/m or 2%顯示值 |
垂直度精度 | arc sec | 1 |
空氣溫度傳感器 | ℃ | 0.2 |
材料溫度傳感器 | ℃ | 0.1 |
大氣壓力傳感器 | mm Hg | 1.0 |
6、測(cè)量案例